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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제12권 제3호
발행연도
2005.1
수록면
227 - 234 (8page)

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알루미나 기판에 빗살 모양의 금 전극을 형성한 후 플라즈마 화학기상법으로 탄소 나노튜브를 성장하여 이산화질소 감지 특성을 조사하였다. 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 온도 증가에 따라 감소하는 반도체 특성을 보였으며, 또한 이산화질소의 농도가 증가하면 센서의 전기 저항은 감소하였다. 이산화질소의 흡착에 따라 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 초기 3분 이내에서는 급격히 감소하였으며 20∼30분 후에는 일정한 값을 유지하였다. 탄소 나노튜브 센서의 감도는 공기속에서 산화 열처리하면 증가되었다. 450℃에서 30분간 산화 열처리한 탄소 나노튜브 센서는 작동온도 200℃에서 낮은 이산화질소 농도인 250 ppb 에서도 27%의 큰 감도를 보였다. 그러나 이산화질소 검출 후 재사용하기 위하여는 20분 이상의 회복 시간이 요구되고 있다.
#carbon nanotube #sensor #nitogen dioxide #sensitivity

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/ 1994 / Enviromental Gas Sensing b 20 : 95 ~ google schola / 1995 / Allergen-induced Late Asthmatic Reactions are Associated with Elevation of Exhaled Nitric Oxide 151 : 1894 ~ google schola / 1997 / Structure and Morphology of Carbon Nanotubes : 111 ~ 138 google schola / 2000 / Application of Carbon Nanotubes : 391 ~ 425 google schola / 2001 / Extreme Oxygen Sensitivity of Electronic Properties of Carbon Nanotubes 287 : 1801 ~ google schola

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