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논문 기본 정보

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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제15권 제3호
발행연도
2005.1
수록면
124 - 127 (4page)

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Ti:LiNbO3 광도파로 제작을 위해 큐리온도(Tc) 아래에서 백금박스 내에서 알곤 과 산소 분위기 내에서 열처리 과정 동안 기판 표면의 강유전 도메인 특성 변화를 관찰하였다. 열처리 된 LiNbO3 기판의 +Z 면의 경우 전체적으로 약 1.6 mm 두께로 도메인 반전이 이루어 졌으며, 표면에서 etch hillock이 관찰되었다. LiNbO3 결정 표면의 Li 이온이 외부로 확산 되는 영향을 감소 시킬 수 있는 환경에 있는 기판 면에서 하나의 도메인이 관찰 되었으며, 이때 결정 표면에서의 식각특성, 결정성 및 양이온 분포변화에 관하여 X-선 회절, AFM 및 SIMS를 이용하여 분석하였다.

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