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논문 기본 정보

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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제15권 제3호
발행연도
2005.1
수록면
120 - 123 (4page)

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Li2CO3-V2O5 flux를 사용한 liquid phase epitaxy(LPE) 법을 사용하여 LiNbO3 (001) 기판위에 5mol% ZnO가 첨 가된 LiNbO3 박막과 2mol% MgO가 첨가된 LiNbO3 박막을 성장시켰다. Zn:LiNbO3 막과 Mg:LiNbO3 막과의 결정성과 격자 부정합은 x-ray rocking curve(XRC)로 분석되었다. 그리고 다층 박막의 단면에서의 ZnO와 MgO의 분포가 electron probe micro analyzer(EPMA)를 사용하여 관측되었다.

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