메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제16권 제6호
발행연도
2006.1
수록면
256 - 259 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
Vapor phase epitaxy(VPE)법을 사용하여 amorphous SiOx nanowires를 성장시켰다. Ni thin film을 촉매로 사용하여 Si 기판위에 800~1100oC 범위의 온도에서 성장시켰으며, SiOx nanowires의 성장 메커니즘은 Vapor-liquid-solid(VLS)으로 확인되었다. SiOx nanowires의 shape와 morphology는 scanning electron microscope(SEM)으로 분석하였으며, cotton-like형태이고 길이는 10 mm 정도였다. 그리고 구조적 특징은 transmission electron microscope(TEM)으로 관찰하였고, SiOx nanowires의 성분 분석은 energy dispersed X-ray spectroscopy(EDS)로 하였다. EDX spectrum으로 nanowires가 Si와 O로 구성되어졌음을 확인하였다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (9)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0