Si(100) wafer와 SiO2/Si(100) 기판에 동시 스퍼터링법으로 증착된 NiFe 합금 박  막의 상변화 및 자기적 특성

강대식; 송종한; 남중희; 조정호; 전명표

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강대식 송종한 남중희 조정호 전명표

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제20권 제5호

발행연도: 2010.1

수록면: 216 - 220 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

Si(100) wafer와 SiO2/Si(100) 기판에 동시 스퍼터링법으로 증착된 NiFe 합금 박 막의 상변화 및 자기적 특성

강대식 , 송종한 , 남중희 외 2명 한국결정성장학회지 2010.01 학술저널

2009

동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 Ni_xFe_100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화

강대식 , 남중희 , 송종한 외 2명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2009.12 학술대회자료

동시 스퍼터링법으로 제조된 NixFe100 − x 박막의 상변화와 자기적 특성

강대식 , 송조한 , 남중희 외 2명 한국결정성장학회지 2009.01 학술저널

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Si(100) wafer와 SiO2/Si(100) 웨이퍼에 증착된 NiFe 합금 박막의 결정상과 자기적 특성을 비교하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 두 기판 위에 150 nm의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 XRD, FE-SEM, VSM으로 비교하였다. 두 기판 위에 증착된 NiFe 박막은 BCC상으로 증착되었으나 400oC에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으며 Si(100) wafer위에 증착된 박막에서는 500oC에서 열처리 후에도 BCC와FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. 450oC에서 열처리 하였을 때 각형비가 가장 높았으며 포화자화는 0.0118emu로 나타나고 있었다. 500oC 이상의 온도에서는 상전이로 인해 포화자화가 급격히 감소하는 것을 볼 수 있었다.

#Soft-magnetic #Phase transformation #NiFe

참고문헌 (8)

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E.E. Shalyguina / 2006 / The influence of annealing on magnetic and magneto-optical properties of iron and nickel films / Journal of Magnetism and Magnetic Materials 300 : 36

G. Dumpich / 1987 / Structural and magnetic properties of NixFe1 ? x evaporated thin films / J. Magn. Magn. Mater. 67 : 55 ~

J. Crangle / 1963 / The magnetization of face-centered cubic and body-centered cubic ironnickel alloys / Proc. Roy. Soc. A 272 : 119 ~

J. Neamtu / 1996 / Hall effect in Permalloy-based thin films and magnetic multilayers / J. Mag. Mag. Mater. 157 : 461 ~

J. Yang / 1999 / Growth structure and properties of Fe rich Fe- Ni alloy films deposited on MgO(001) by dc-biased plasma sputtering / Thin Solid Films 347 : 85 ~

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