Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma

Deokho Hwang ,  Sanghyeok Pa ,  k 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Analysis of the Characteristics of Radio Frequency Power Transmission Lines Using a Voltage Current Probe in Low-Pressure Discharge

Chan-Won Pa ,  k ,  Hee-Jung Yeom 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

Plasma diagnostic method by charging voltages in a floating Langmuir probe

이무영 ,  김경현 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation

차주홍 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

DC Langmuir Probe for Measurement of Space Plasma: A Brief Review

Koichi ,  o Oyama

Journal of Astronomy and Space Sciences

2015 .09

Case studies for modeling magnetic anomalies with COMSOL Multiphysics®

하고은 ,  김승섭

지질학회지

2018 .12

Selective etching of SiO₂ using embedded RF pulsing in a dual-frequency capacitively coupled plasma system

염원균 ,  전민환 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma

Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

RF 축전 결합형 플라즈마 장비에서 발생하는 줄무늬의 형성 원리

박건우 ,  천정빈 ,  김청호 외 1명

새물리

2023 .09

Measurement of sheath width using the cutoff probe

김대웅 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Experimental and numerical study on measurement of effective sheath width around cutoff probe

김대웅 ,  유신재 ,  김정형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Plasma characterization of a mesh separated dual plasma source by L-probe and QMS

김동훈 ,  최지성 ,  김성봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

자기 거울로 가두어진 고밀도 수소 플라즈마 진단

이민근 ,  Mahmoud Elga ,  hy 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Characteristics of the Plasma Source for Ground Ionosphere Simulation Surveyed by Disk-Type Langmuir Probe

류광선 ,  이준찬 ,  김손구 외 5명

Journal of Astronomy and Space Sciences

2017 .12

2D GPU-PIC을 이용한 Capacitively Coupled Plasma 장비 내에서 발생하는 Micro-arc 현상 연구

김창호 ,  허민영 ,  김진석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

컷오프 탐침과 랑뮤어 탐침을 이용한 자화유도결합플라즈마 특성 진단

손의정 ,  김동현 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Microtrenching of SiO₂ contact hole etching in C₄F₈/Ar capacitively coupled plasma

S. J. Kim ,  J. J. Lee ,  H. J. Yeom 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Improving uniformity of sputtering ion source using COMSOL Modeling

Joonwoo Kim ,  June-Seo Kim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2024 .11

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02