QMS를 이용한 플라즈마 공정 진단

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

A Quantification Method in Quadrupole Mass Spectrometer Measurement

Young Seok Lee ,  Sang Hyeop Oh ,  Jang Jae Lee 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2021 .03

Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications

Mahmoud A. I. Elga ,  hy

Applied Science and Convergence Technology

2022 .03

H₂+Ar+CF₄ ICP 시스템에서 CF₄ 주입위치에 따른 분압의 QMS Monitoring

김동훈 ,  김형주 ,  주정훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

H₂+Ar+CF₄ ICP 시스템에서 CF₄ 상하부 주입시 Mesh 효과에 따른 Multi QMS monitoring

김동훈 ,  임진형 ,  김성봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Comparative simulation of microwave probes for plasma density measurement and its application

김대웅 ,  유신재 ,  김시준 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations

차주홍 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characteristics of Inductively Coupled Plasma Source Using Internal Linear Antenna Operated by Superimposed Dual Frequency

이수정 ,  김도한 ,  김태형 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Characteristics of the Plasma Source for Ground Ionosphere Simulation Surveyed by Disk-Type Langmuir Probe

류광선 ,  이준찬 ,  김손구 외 5명

Journal of Astronomy and Space Sciences

2017 .12

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Characteristics of Internal Linear Inductively Coupled Plasma Source Operated with Superimposed Dual Frequency

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture

Suk Jae Yoo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications

Due Ba Nguyen ,  Nosi ,  Matyakubov 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용

김재호

진공이야기

2020 .09