RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구

유경환 ,  김경현 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

플라즈마 컷오프 프로브 소개

유신재

진공이야기

2017 .06

유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구

이예슬 ,  박혜진 ,  최진우 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

엔탈피 프로브 진단기술

서준호

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Measurement of sheath width using the cutoff probe

김대웅 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Experimental and numerical study on measurement of effective sheath width around cutoff probe

김대웅 ,  유신재 ,  김정형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation

차주홍 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

연구 및 산업분야에서의 주사탐침현미경의 가능성

조상준

한국분석과학회 학술대회

2019 .11

Plasma diagnostic method by charging voltages in a floating Langmuir probe

이무영 ,  김경현 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

DC Langmuir Probe for Measurement of Space Plasma: A Brief Review

Koichi ,  o Oyama

Journal of Astronomy and Space Sciences

2015 .09

플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험

박연수 ,  신기원 ,  김우재 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

나노기술의 개척 중심 주사탐침기술

조상준

한국분석과학회 학술대회

2022 .11

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

량뮤어 프로브 진단 기술

이효창

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교

김우재 ,  조태훈 ,  박혜진 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교

김우재 ,  권희태 ,  신기원 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

주사탐침현미경 기술의 최신동향과 국제 표준화 활동 및 필요성

조상준

한국분석과학회 학술대회

2023 .05