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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.6
- 수록면
- 598 - 603 (6page)
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삼차원 형상 측정 기술은 다양한 산업에서 활용하고 있는 기술이다. 그 중, 광 삼각법에 기초한 광학식 삼차원 형상 측정 기술들은 매일 공장에서 오랜 시간 동안 대량의 삼차원 형상 측정을 하고, 미세한 측정 또한 요구되는 반도체 생산품 검사 분야에서 주로 사용된다. 이러한 광 삼각법 기반의 삼차원 측정 장비들의 구성 요소인 광원과 구동 회로는 장시간 작동하게 되면 발열이 나타나게 되고 장시간 작동하며 주변의 온도가 일정하지 않은 상황에 노출되기도 하여 온도로 인한 측정 오차가 발생하게 된다. 본 논문에서는 장시간 반복해서 사용하는 PMP(Phase Measuring Profilometry) 형상 측정법에서의 열 변위 보정에 관한 방법을 제안하였다. PMP 형상 측정법 기반의 삼차원 형상 측정 장치를 구현하여 10시간에 걸쳐 물체의 높이와 주변 온도를 측정하는 실험을 진행하였고, 측정된 온도와 높이 값을 이용하여 단순 선형 회귀 분석을 하여 회귀직선을 얻었다. 이 회귀직선을 이용하여 온도에 따른 높이 측정값의 오차를 보정하게 되면 정상적인 측정값에서의 오차 값이 139.88 um(Micrometer) 에서 13.12 um로 보정되는 것을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 삼차원 형상 측정
3. 열 변위 보정
4. 결론
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
Chang-Kyu Song, Seung-Woo Kim, Juneho Park, “Automatic Measurement of 3-Dimensional Profile of Free-Formed Surfaces by Using Touch-Trigger Probes”, Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers, Vol.17, No.2, pp.407-415, 1993. DOI: http://dx.doi.org/10.22634/KSME.1993.17.2.407
Z. M. Zhang, M.E. Jung, J. P. Hong, “Measurement and Evaluation of 3D Printing Quality”, Proceedings of KSPE 2016 Spring Conference , Korean Society for Precision Engineering, pp.912-913, 2016.
Hwa Yeong. Choi, Kyung Uk. Roh, “Surface Recession Visualization of Ablative Materials Using Three-dimensional Profilometer and High-speed Camera”, KSAS 2018 Spring Conference , The Korean Society for Aeronautical and Space Sciences, pp.657-660, 2018.
Sang Hyun. Cho, Heung Moon. Choi, “An Implementation of 2D/3D Complex Optical System and its Algorithm for High Speed, Precision Solder Paste Vision Inspection”, The Institute of Electronics Engineers of Korea ? Signal Processing , Vol.41, No.3, pp.139-146, 2004.
Yoon-Chang. Park, Seong-Joon. Ahn, Moon-Ho. Kang, Young-Chul. Kwon, Seung-Joon. Ahn, “Phase error compensation for three-dimensional shape measurement based on a phase-shifting method”, Journal of academia-industrial technology , Vol.10, No.11, pp.3023-3030, 2009. DOI: http://dx.doi.org/10.5762/KAIS.2009.10.11.3023
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