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PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Low-temperature synthesis of nc-Si/a-SiNx: H quantum dot thin films using RF/UHF high density PECVD plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Synthesis of silicon nitride thin film for high permeation barrier performance with RF power variation on hollow cathode RF PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Solving the RF coupling issue between chambers that share the ground in one PECVD system
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD를 통해 향상된 SiN/SiO2/ITO 다층박막의 무반사 효과에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
In-situ synthesis of MoS₂ on gold electrode platform and application of electrochemical biosensing
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
N₂O plasma growth ultra-thin tunnel oxide layer passivation by PECVD for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
가속 전압 및 Beam Current 조절에 따른 Si wafer & GaAs wafer patterning 분석
한국분석과학회 학술대회
2023 .11
Plasma nitridation of atomic layer deposition-Al2O3 by NH3 in PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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