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스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
한국표면공학회지
2017 .04
Study on ITO Characteristics Change according to Temperature and Power Source
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2020 .08
Reactive Sputtering 공법을 이용하여 제작된 ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
투명전극용 인듐 주석 산화물 타겟 소재의 재자원화 동향
청정기술
2015 .12
투명 면상 발열체 응용을 위한 하이브리드 스퍼터 ITO/Ag/ITO 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
ITO nanoparticles reused from ITO scraps and their applications to sputtering target for transparent conductive electrode layer
Nano Convergence
2017 .09
전기저항형 금속산화물 센서의 인쇄공정 최적화에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2016 .01
Effect of Annealing Treatment on Mechanical Properties of Indium Tin Oxide (ITO) Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
고전도성 투명전극인 ITO/Ag/ITO 다층박막에 관한 광학적 분석
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
박막 히터로서의 주석-도핑 산화 인듐 (ITO) 나노 입자 투명 전도체의 열처리 및 두께 최적화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
산소 유입 없이 RF 스퍼터로 증착한 고품질 ITO 박막의 두께와 열처리 온도에 따른 박막의 특성 변화
전기전자재료학회논문지
2024 .05
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
RF/DC 스퍼터 성장한 ITO/Ag/ITO 투명전극 박막의 특성 연구
Current Photovoltaic Research
2022 .03
인라인 마그네트론 스퍼티링에 의한 ITO/Ag/ITO 다층 구조 투명전극의 최적화에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2017 .03
Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
Study on the Structural and Mechanical Characteristics of ITO Films Deposited by Pulsed DC Magnetron Sputtering
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2016 .01
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
인-라인 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 고전도성 ITO/Ag/i-ZnO 투명전극
반도체디스플레이기술학회지
2015 .01
RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조
한국표면공학회지
2019 .04
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