Study on the Structural and Mechanical Characteristics of ITO Films Deposited by Pulsed DC Magnetron Sputtering

강준영; Anh Huy Tuan Le; Hyeongsik Park; Yongjun Kim; Junsin Yi; Sunbo Kim

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 강준영 Anh Huy Tuan Le Hyeongsik Park Yongjun Kim Junsin Yi Sunbo Kim

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제17권 제6호

발행연도: 2016.1

수록면: 351 - 354 (4page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

The mechanical properties of ITO films such as adhesion and internal stress are very important for the commercialapplication of solar cell devices. We report high quality pulsed DC magnetron sputtered ITO films deposited on siliconand glass substrates with low resistivity and high transmittance for various working pressures ranging from 0.96 to3.0 mTorr. ITO films showed the lowest resistivity of 2.68×10-4 Ω·cm, high hall mobility of 46.89 cm2/V.s, and hightransmittance (>85%) for the ITO films deposited at a low working pressure of 0.99 mTorr. The ITO films depositedat a low working (0.96 mTorr) pressure had both amorphous and polycrystalline structures and were found to havecompressive stress while the ITO films deposited at higher temperature than 0.99 mTorr was mixture of amorphousand polycrystalline and was found to have tensile stress.

#ITO #indium tin oxide) #Working pressure #Internal stress #Pulsed DC magnetron sputtering #SHJ solar cell

참고문헌 (20)

참고문헌 신청

Vinh Ai Dao / 2010 / rf-Magnetron sputtered ITO thin films for improved heterojunction solar cell applications / Current Applied Physics 10(3):506~509

Woong-Kyo Oh / 2012 / Study on the ITO work function and hole injection barrier at the interface of ITO/a-Si:H(p) in amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cells / Materials Research Bulletin 47(10):3032~3035

Sunbo Kim / 2014 / Role of double ITO/In2O3 layer for high efficiency amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cells / Materials Research Bulletin 58:83~87

Shahzada Qamar Hussain / 2014 / Influence of high work function ITO:Zr films for the barrier height modification in a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells / Solar Energy Materials and Solar Cells 122:130~135

Shahzada Qamar Hussain / 2014 / RF magnetron sputtered indium tin oxide films with high transmittance and work function for a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells / Vacuum 101:18~21

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

강준영

소속기관

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 6

Anh Huy Tuan Le

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 6

Hyeongsik Park

소속기관

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 6

김용준

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 7 이용수 57

Junsin Yi

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 4

김선보

소속기관 성균관대학교 에너지과학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 7

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (20)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)