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자료유형
학술저널
저자정보
홍성제 (한국전자기술연구원) Song Sang-Hyun (Han Chung RF Co. Ltd) Kim Byeong Jun (Han Chung RF Co. Ltd) Lee Jae-Yong (Han Chung RF Co. Ltd) Kim Young-Sung (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
나노기술연구협의회 Nano Convergence Nano Convergence Vol.4 No.23
발행연도
2017.9
수록면
1 - 6 (6page)
DOI
10.1186/s40580-017-0117-y

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In this study, ITO nanoparticles (ITO-NPs) were reused from ITO target scraps to synthesize low cost ITO-NPs and to apply to make sputtering target for transparent conductive electrodes (TCEs). By controlling heat-treatment temperature as 980 °C, we achieved reused ITO-NPs having Brunauer, Emmett and Teller specific surface area (BET SSA) and average particle size 8.05 m2/g and 103.8 nm, respectively. The BET SSA decreases along with increasing heat-treatment temperature. The ITO-NPs were grown as round mound shape, and highly crystallized to (222) preferred orientations. Also, applying the reused ITO-NPs, we achieved an ITO target of which density was 99.6%. Using the ITO target, we achieved high quality TCE layer of which sheet resistance and optical transmittance at 550 nm were 29.5 Ω/sq. and 82.3%. Thus, it was confirmed that the reused ITO-NPs was feasible to sputtering target for TCEs layer.
#ITO-NPs Reuse Reverse reduction in situ dispersion ITO target TCE layer

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