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이용수
초록
Abstract
서론
실험
결과 및 토론
결론
참고문헌
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CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
Preparation of Polyethersulfone/Poly(2-(dimethylamino) ethyl methacrylate) Electrospun Nanofiber for Cu2+ Adsorption
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
비선형 유한요소해석법을 이용한 CMP 멤브레인의 해석적 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
CMP의 화학 기계적 균형
기계저널
2016 .07
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
탄산염암 저류층에 저염수주입공법과 폴리머공법의 복합 적용에 따른 오일 생산량 평가
한국가스학회지
2018 .10
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