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본 연구에서는 초임계 이산화탄소/n-butyl acetate (scCO₂/n-BA) 공용매를 사용하여 네거티브형 포토레지스트(PR)를 제거하는 실험을 진행하였다. scCO₂와 n-BA의 용해도 평가를 통해 n-BA가 scCO₂와 균일하게 섞이는 조건을 실험적으로 측정하였다. 다양한 실험 변수를 조정하여 포토레지스트 제거 실험을 진행하였고, 미노광 포토레지스트 제거에 대한 최적의 조건을 확립하였다. 또한, 노광된 PR과 미노광 PR의 제거율을 비교하여 scCO₂/n-BA 공용매의 선택적 제거 성능을 확인하였다. 노광된 PR은 scCO₂/n-BA 공용매 환경에서 매우 안정적으로 존재함을 관찰하였고, 미노광 PR은 160 bar, 40 ℃, 75 wt% n-BA 이상의 농도에서 완전히 제거됨을 확인하였다. scCO₂/n-BA 공용매 시스템은 노광 PR과 미노광 PR 사이의 높은 선택성을 제공할 수 있으며, 네거티브 PR의 리소그래피 공정에서 높은 신뢰성을 부여할 것으로 기대된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (28)
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[학술지(정기간행물)] - O'Shea, K. E / 1991 / Polar and Hydrogen-Bonding Interactions in Supercritical Fluids. Effects on the Tautomeric Equilibrium of 4-(phenylazo)-1-naphthol / J. Phys. Chem 95 : 7863 ~ 7867
[학술지(정기간행물)] - Campbell, M. L / 2001 / Metal Extractionfrom Heterogeneous Surfaces Using Carbon Dioxide Microemulsions / Langmuir 17 : 5458 ~ 5463
[기타자료] - Carbonell, R. G. / 2000 / Method for Meniscus Coating with Liquid Carbon Dioxide, U. S. Patent 6,083,565 / : ~
[학술지(정기간행물)] - Cooper, A. I / 2000 / Synthesis of Well-Defined Macroporous Polymer Monoliths by Sol-Gel Polymerization in Supercritical CO2 / Ind. Eng. Chem. Res 39 : 4741 ~ 4744
[학술지(정기간행물)] - Hwang, H. S / 2007 / Dispersion Polymerization of MMA in Supercritical CO2 Stabilized by Random Copolymers of 1H, 1H–Perfluorooctyl Methacrylate and 2-(Dimethylaminoethyl Methacrylate) / J. Polym. Sci. : Part A: Polym. Chem 46 : 1365 ~ 1375
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