Sol-Gel 법에 의한 압전 PZT 후막의 제조

박종환; 방국수; 박찬

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박종환 (부경대학교) 방국수 (부경대학교) 박찬 (부경대학교)

저널정보: 한국해양공학회 한국해양공학회지 한국해양공학회지 제29권 제1호

발행연도: 2015.2

수록면: 94 - 99 (6page)

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Lead zirconate titanate (PZT) thick films with thicknesses of 20?100 ㎛ were fabricated on silicon substrates using an aerosol deposition method. A PZT powder solution was prepared using a sol-gel process. The average diameters (d50) obtained were 1.67, 1.98, and 2.40 μm when the pyrolysis temperatures were 300°C, 350°C, and 450°C respectively. The as-deposited film had a uniform microstructure without any cracks or pores. The as-deposited films on silicon were annealed at a temperature of 700°C. The 20-㎛-thick PZT film showed good adherence between the PZT film and substrate, with no tearing observed in the conventional solid phase process. This was probably because the presence of pores produced from organic residue during annealing relieved the residual stresses in the deposited film.

#PZT powder #PZT 분말 #Sol-gel process 솔-젤 법 #Aerosol deposition method 에어로졸 증착법 #FE-SEM 전계방사형 전자현미경 #Thick film 후막 #TEM 투과식 전자현미경

참고문헌 (13)

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1. [학술지(정기간행물)] - Akedo, J. / 1999 / Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method / Japanese Journal of Applied Physics 38 : 5397 ~ 5401

2. [학술지(정기간행물)] - Choi, J. J. / 2007 / Preparation of Highly Dense PZN-PZT Thick Films by the Aerosol Deposition Method using Excess PbO Powder / Journal of American Ceramic Society 90 (11) : 3389 ~ 3394

3. [학술지(정기간행물)] - Evans, A. G. / 1995 / The Thermomechanical Integrity of Thin Films and Multilayers / Acta Metallurgica et Materialla 43 (7) : 2507 ~ 2530

4. [학술지(정기간행물)] - Haertling, G. H. / 1999 / Ferroeletric Ceramics : History and Technology / Journal of American Ceramic Society 84 (3) : 797 ~ 818

5. [학술지(정기간행물)] - 홍동수 / 2012 / 무선 임피던스 센서노드를 이용한 강-볼트 접합부의 임피던스기반 손상모니터링에 미치는 온도 영향 / 한국해양공학회지 26 (1) : 27 ~ 33

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