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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.10
- 수록면
- 2,015 - 2,020 (6page)
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In this paper, we propose an agent-based system to detect abnormal process flow in semiconductor manufacturing process. A large-scale automation system like a semiconductor line is composed of multi-agents. Each agent carries out only a given role with autonomy. Therefore, even if an abnormality occurs, it might cause huge accident easily. For quality control, it is necessary to detect such anomalies promptly and take necessary measures, but the system complexity is so high that process managers are unable to detect abnormalities. In order to allow the administrator to quickly recognize the problem situation, we propose an agent that monitors process flow, and detects abnormal flow, and verify its validity using the data.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. RELATED WORKS
3. PRODUCTION SYSTEM SIMULATOR
4. ABNORMAL FLOW DETECTION
5. EXPERIMENT
6. CONCLUSION
REFERENCES
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