실시간 오염입자 모니터링 시스템 개발 및 측정 효율 평가

김종호; 문지훈; 김동빈; 김영석; 김동환; 강상우

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저자정보: 김종호 (과학기술연합대학원대학교) 문지훈 (과학기술연합대학원대학교) 김동빈 (한국표준과학연구원) 김영석 (한국표준과학연구원) 김동환 (한국표준과학연구원) 강상우 (과학기술연합대학원대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.8

수록면: 96 - 96 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2021

반도체공정에서 발생하는 오염입자 실시간 측정을 위한 광 산란 방식 고효율 진단 시스템 개발 및 평가

김종호 , 문지훈 , 강상우 한국진공학회 학술발표회초록집 2021.02 학술대회자료

2017

실시간 오염입자 모니터링 시스템 개발 및 측정 효율 평가

김종호 , 문지훈 , 김동빈 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료

실시간 나노입자 모니터링 시스템의 측정 효율 평가 및 측정 불확도 개선 연구

김종호 신소재공학과 2017.01 학위논문

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김종호

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논문수 131 이용수 12,254

문지훈

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 23 이용수 1,138

Dongbin Kim

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 22 이용수 1,067

김영석

소속기관 한국건설기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 31 이용수 1,008

김동환

소속기관 영남대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 105 이용수 4,486

강상우

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 122 이용수 6,368

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진공공정에서의 오염입자 실시간 모니터링을 위한 광학식 센서 개발

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문지훈 , 우대광 , 김명준 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 .02

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