지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
In the past several decades, production yield and quality of the semiconductor and display process has successfully managed by introducing the advanced process control (APC) system. However, the recent technology evolution which represented as large-scale and high-density integration requires the much complicate and precise analysis of the processes for the breakthrough increasing of production yield. In this reason, the demand of developing novel real-time process monitoring sensor is increasing. We developed novel optical sensor for the real-time monitoring of contamination particles in vacuum environment. The developed sensor showed higher measurement efficiency and the weaknesses of previously developed sensors were overcame by introducing the novel measurement methods.
목차
서론
진공공정에서의 오염입자 발생
광학식 모니터링 센서
결론
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
광산란 센서형 미세먼지 측정기의 정도관리
한국대기환경학회 학술대회논문집
2020 .10
-
Magnetic-based Pressure Sensor and its applications for health monitoring
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2021 .07
-
Correction Factors for Outdoor Concentrations of PM2.5 Measured with Portable Real-time Monitors Compared with Gravimetric Methods: Results from South Korea
한국환경과학회지
2015 .12
-
Flexible sensors for bio-monitoring and clinical applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Sensors for Internet of Things
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .11
-
진공공간 내 나노급 오염입자의 실시간 진단시스템 개발
진공이야기
2015 .09
-
Ultraviolet Light Sensor Based on an Azobenzene-polymer-capped Optical-fiber End
Current Optics and Photonics
2018 .08
-
IoT and Sensors
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .11
-
Sensing Magnetic Fields With Surface Acoustic Wave (SAW) Sensors
Journal of Magnetics
2019 .09
-
광산란 방식 간이형 미세먼지 센서의 입경 분리능 평가기법 개발
한국대기환경학회지(국문)
2022 .02
-
Visible particles of vacuum
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Smart Factory Big Data를 활용한 공정 이상 탐지 프로세스 적용 사례 연구
응용통계연구
2021 .02
-
Present and Future of Magnetic sensors
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .11
-
A Study on Real-Time Slope Monitoring System using 3-axis Acceleration
조선자연과학논문집
2017 .01
-
Development of real-time heartbeat measurement system using patch-type pressure sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Noise reduction method for PHMR bridge sensor by resistance compensator
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2021 .07
-
High Resolution Current sensor using Differential Planar Hall Resistance Sensor
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2018 .11
-
반도체공정에서 발생하는 오염입자 실시간 측정을 위한 광 산란 방식 고효율 진단 시스템 개발 및 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
-
A Study on the Development of Sensor-Based Smart Wappen System -Focus on UV Sensor and Gas Sensor-
패션 비즈니스
2018 .01
-
간이측정기(센서)의 정도검증을 위한 센서-정밀측정 장비 데이터 비교분석
한국대기환경학회 학술대회논문집
2023 .10
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
저압 광산란 입자측정센서 개발 및 성능 평가
문지훈
,
우대광
,
김명준
외 7명
한국진공학회 학술발표회초록집
2010
.02
반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요
이상윤
,
노명근
,
김병옥
외 1명
Applied Science and Convergence Technology
2010
.07
반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치
이한용
,
손정훈
,
장보은
외 3명
전력전자학회 학술대회 논문집
2017
.07
The Dependence of Hot-Carrier Reliability of Ultra-Thin Gate Oxide on TCA Incorporation
박경남
,
최영진
,
박병국
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1996
.01
반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
김용진
대한기계학회지
1993
.02
최근 본 자료
댓글(0)
0