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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.12 No.5
- 발행연도
- 2017.9
- 수록면
- 2,007 - 2,013 (7page)
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In order to give hydrophobic surface properties on carbon steel, the fluorinated amorphous carbon films were prepared by using linear 2.45GHz microwave PECVD device. Two different process approaches have been tested. One is direct deposition of a-C:H:F films using admixture of Ar/CH<SUB>4</SUB>/CF<SUB>4</SUB> working gases and the other is surface treatment using CF₄ plasma after deposition of a-C:H film with Ar/CH₄ binary gas system. Ar/CF₄ plasma treated surface with high CF₄ gas ratio shows best hydrophobicity and durability of hydrophobicity. Nanometer scale surface roughness seems one of the most important factors for hydrophobicity within our experimental conditions. The properties of a-C:H:F films and CF₄ plasma treated a-C:H films were investigated in terms of surface roughness, hardness, microstructure, chemical bonding, atomic bonding structure between carbon and fluorine, adhesion and water contact angle by using atomic force microscopy (AFM), nano-indentation, Raman analysis and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental details
3. Result and discussion
4. Conclusions
References
참고문헌 (22)
참고문헌 신청
Golap Kalita, Hare Ram Aryal, Sudip Adhikari, Dilip C. Ghimire, Rakesh A. Afre, Tetsuo Soga, Maheshwar Sharon and Masayoshi Umeno, “Fluorine incorporated amorphous carbon thin films prepared by Surface Wave Micro-wave Plasma CVD,” Diamond & Related Materials 17, pp. 1697-1701, 2008.
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