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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.1
- 수록면
- 19 - 27 (9page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2021.46.1.019
이용수
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지구온난화에 따른 기후 문제가 심각해지는 반면, 세계적인 반도체 수요 증가로, 온실가스인 과불화화합물 사용량이 증가하고 있다. 특히, 높은 열분해 온도를 갖는 CF₄ 제거를 위해 많은 에너지를 소모하고 있다. 에너지 효율이 높은 스크러버 기술 개발을 위해 열 플라즈마-촉매 조합에 대한 연구를 수행하였으며, CF₄ 제거 특성 및 에너지 효율을 분석하였다. 플라즈마 열의 집중에 따른 부작용을 최소화하기 위해 유동층 촉매 반응기를 적용한 새로운 열 플라즈마-촉매 반응기를 적용하였으며, 고정층 촉매반응기와의 CF₄ 분해 성능 및 온도 분포를 비교하였다. 그 결과, 높은 온도 균일성 및 95%의 CF₄ 분해율을 확인하였다. 또한, 기존 플라즈마 단독 스크러버 대비 약 2.5배 이상 에너지 효율을 확보할 수 있었다. 본 연구의 결과는 열 플라즈마-촉매 방식의 고효율 스크러버 개발에 기여할 것 기대한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 반응기 설계 및 실험 방법
3. 실험 결과 및 논의
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (24)
참고문헌 신청
Mogab, C. J., Adams, A. C. and Flamm, D. L., 1978, “Plasma Etching of Si and SiO2 - The Effect of Oxygen Additions to CF4 Plasmas,” J. Appl. Phys., Vol. 49, No. 7, pp. 3796~3803.
Li, P., Zhi, D., Zhang, X., Zhu, H., Li, Z., Peng, Y., He, Y., Luo, L., Rong, X. and Zhou, Y., 2019, “Research Progress on the Removal of Hazardous Perfluorochemicals: A Review,” Journal of Environmental Management, Vol. 250, Article 109488.
Ou Yang, C.-F., Kam, E. H., Liu, C. H., Tzou, J. and Wang, J. L., 2009, “Assessment of Removal Efficiency of Perfluorocompounds (PFCs) in a Semiconductor Fabrication Plant by Gas Chromatography,” Chemosphere, Vol. 76, No. 9, pp. 1273~1277.
Jia, L. and Ma, S., 2005, “The Experimental Study on Hgh Temperature Air Combustion and CF4 Decomposition,” ASME Summer Heat Transf. Conf., pp. 705~708.
Qin, L., Han, J., Wang, G., Kim, H. J. and Kawaguchi, I., 2010, “Highly Efficient Decomposition of CF4 Gases by Combustion,” Conference on Environmental Pollution and Public Health, pp. 126~130.
Li, P., Zhi, D., Zhang, X., Zhu, H., Li, Z., Peng, Y., He, Y., Luo, L., Rong, X. and Zhou, Y., 2019, “Research Progress on the Removal of Hazardous Perfluorochemicals: A Review,” Journal of Environmental Management, Vol. 250, Article 109488.
Ou Yang, C.-F., Kam, E. H., Liu, C. H., Tzou, J. and Wang, J. L., 2009, “Assessment of Removal Efficiency of Perfluorocompounds (PFCs) in a Semiconductor Fabrication Plant by Gas Chromatography,” Chemosphere, Vol. 76, No. 9, pp. 1273~1277.
Jia, L. and Ma, S., 2005, “The Experimental Study on Hgh Temperature Air Combustion and CF4 Decomposition,” ASME Summer Heat Transf. Conf., pp. 705~708.
Qin, L., Han, J., Wang, G., Kim, H. J. and Kawaguchi, I., 2010, “Highly Efficient Decomposition of CF4 Gases by Combustion,” Conference on Environmental Pollution and Public Health, pp. 126~130.
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