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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제8권 제3호
발행연도
2007.6
수록면
454 - 459 (6page)

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본 논문에서는 비정질 Al₂O₃ 코아 재료를 응용한 단순 solenoid 형태의 소형 、 고성능 RF 칩 인덕터를 연구하였다. 인덕터 크기는 0.86×0.46×0.45㎜㎣이고, 27㎛ 직경의 Cu를 코일로 사용하였다 R 칩 인덕터의 인덕턴스(L), 양호 인자(Q), 임피던스(Z), 커패시턴스(C)와 등가회로 파라미터 등의 주파수 특성은 RF impedance/Material Analyzer (HP16193A test fixture가 장착된 HP4291B)로 측정되었다. 9~12회의 권선수를 가진 RF 칩 인덕터들의 인덕턴스 값은 21~34nH 범위를 가진다. 이들의 자기공진주파수 (SRF)는 5.7-3.7GHz 영역을 나타낸다. 또한 자기공진주파수가 증가함에 따라 인덕턴스 값이 감소하는 경향을 보이고 있다. 인덕터의 SRF는 인덕턴스가 증가함에 따라 감소하며,Q의 값은 900MHz~1.7GHz 주파수 범위에서 최대 38~49까지 얻어졌다.

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