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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제3호
발행연도
2004.1
수록면
340 - 347 (8page)

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Ultra-small size, high-performance, solenoid-type RF chip inductors utilizing low-loss Al2O3 core materials were investigated. The dimensions of the RF chip inductors fabricated were 1.0㎜ 0.5㎜ 0.5㎜ and copper coils were used. The materials (96% Al2O3) and shape (I-type) of the core, the diameters (40㎛) and position (middle) of the coil, and the lengths (0.35㎜) of solenoid were determined by a high-frequency structure simulator (HFSS) to maximize the performance of the inductors. The high-frequency characteristics of the inductance (L) and quality-factor (Q) of the developed inductors were measured using a RF impedance/material analyzer (E4991A with E16197A test fixture). The developed inductors exhibit an inductance of 11 to 11.3nH and a quality factor of 22.3 to 65.7 over the frequency ranges of 250 MHz to 1.7 GHz, and show results comparable to those measured for the inductors prepared by CoilcraftTM. The simulated data described the high-frequency data of the L and Q of the fabricated inductors well.

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