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In this study, the variations of the important characteristics of solenoid-type RF chip inductors utilizing a low-loss Al₂O₃ core material on inductor dimensions were investigated systematically. Four dimensions of the chip inductors fabricated in this work were 1.0×0.5×0.5 ㎣, 1.5×1.0×0.7 ㎣, 2.1×1.5×1.0 ㎣, and 2.4×2.0×1.4 ㎣ and copper (Cu) wire with 40 ㎛ diameter was used as the coils. High frequency characteristics of the inductance, quality factor, and impedance of developed inductors as a function of inductor dimensions were measured using an RF Impedance/Material Analyzer (HP4291B with HP16193A test fixture). It was observed that the developed inductors with the number of turns of 6 have the inductance (L) of 12 to 82 nH and exhibit the self-resonant frequency (SRF) of 3.6 to 1.2 ㎓. The SRF of inductors decreases with increasing the inductor size while the L increases with the inductor size. The smallest inductors of 1.0×0.5×0.5 ㎣ exhibited the L of 12 nH, SRF of 3.6 ㎓, and the quality factor of 67 near the frequency of 1.1 ㎓. The calculated data predicted the high-frequency data of the L, and Q of the developed inductors well.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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