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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.9
- 수록면
- 138 - 143 (6page)
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본 논문에서 기존 반도체공정들이 갖는 리소그래피와 식각 등의 공정단계를 배제하는 direct-write 공정과 LAM(Laser Ablation of Microparticles) 공정을 이용하여 친환경적인 이점을 가질 수 있는 나선형 인덕터의 구조를 제안하고 주파수 특성을 확인하였다. 인덕터의 구조는 Si를 540, 를 3으로 하였으며, Cu 코일의 폭과 선간의 간격은 LAM 공정과 direct-write 공정을 이용할 수 있도록 각각 30으로 설정하여 2회 권선하였다. 나선형 박막 인덕터의 성능을 나타내는 인덕턴스, quality-factor, SRF에 대한 주파수 특성을 HFSS로 시뮬레이션 하였다. Underpass와 via가 제거된 인덕터는 300-800MHz 범위에서 1.11nH의 인덕턴스, 5GHz에서 최대 38 정도의 품질계수를 가지며, SRF는 18GHz로 시뮬레이션 결과를 얻었다. 반면에 underpass와 via를 가지는 일반적인 인덕터는 300-800MHz 범위에서 1.12nH의 인덕턴스, 5GHz에서 최대 35 정도의 품질계수를 가지며, SRF는 16GHz로 시뮬레이션 결과를 얻을 수 있었다.
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1. [학술지(정기간행물)] - Minda Denesh / 2002 / Differentially Driven Symmetric Microstrip Inductors / IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques 50 (1) : 332 ~ 341
2. [학술지(정기간행물)] - Rob Groves / 1997 / Temperature Dependence of Q and Inductance in Spiral Inductors Fabricated in a Silicon-Germanium /BiCMOS Technology / IEEE Journal of Solid-State Circuits 32 (9) : 1455 ~ 1459
3. [학술지(정기간행물)] - I. Wolff / 1987 / Modeling of Circular Spiral Inductors for MMICs / IEEE MTT-s Digest : 123 ~ 126
4. [학술지(정기간행물)] - Chong H. Ahn / 1998 / Micromachined Planar Inductors on Silicon Wafers for MEMS Applications / IEEE Trans. on Industrial Electronics 45 (6) : 866 ~ 876
5. [학술지(정기간행물)] - Myung-Hee Jung / 2000 / Development of High-Performance Solenoid-Type RF Chip Inductors / Jpn. J. Appl. Phys 39 (8) : 4772 ~ 4776
2. [학술지(정기간행물)] - Rob Groves / 1997 / Temperature Dependence of Q and Inductance in Spiral Inductors Fabricated in a Silicon-Germanium /BiCMOS Technology / IEEE Journal of Solid-State Circuits 32 (9) : 1455 ~ 1459
3. [학술지(정기간행물)] - I. Wolff / 1987 / Modeling of Circular Spiral Inductors for MMICs / IEEE MTT-s Digest : 123 ~ 126
4. [학술지(정기간행물)] - Chong H. Ahn / 1998 / Micromachined Planar Inductors on Silicon Wafers for MEMS Applications / IEEE Trans. on Industrial Electronics 45 (6) : 866 ~ 876
5. [학술지(정기간행물)] - Myung-Hee Jung / 2000 / Development of High-Performance Solenoid-Type RF Chip Inductors / Jpn. J. Appl. Phys 39 (8) : 4772 ~ 4776
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