마이크로웨이브 플라즈마 방식의 새로운 IBF 이온원 개발 연구

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저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Ion beam figuring #IBF ion source #Microwave plasma #MeLA #Surface wave plasma

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유현종

소속기관 한밭대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 자연과학 > 물리학

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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