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저자정보
장수욱 (국가핵융합연구소) 최용섭 (국가핵융합연구소)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.10
수록면
608 - 608 (1page)

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2020

양방향의 진행파가 입사되는 원형 도파관을 이용한 선형 마이크로웨이브 플라즈마 발생원 설계
장수욱 ,  박종배 ,  정현영 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

2018

이온빔 연마를 위한 고밀도 ECR 플라즈마 발생원 개발
장수욱 ,  최용섭 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

2015

고전류 금속이온빔 발생을 위한 도파관 직접 연결형태의 ECR 플라즈마 소스 개발
장수욱 ,  유현종 ,  추원일 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#ECR #Plasma #Ion beam figuring

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