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모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication
센서학회지
2021 .01
Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
습식 에칭 공정에서의 안전관리 자동화에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .04
A Review of Wet Chemical Etching of Glasses in Hydrofluoric Acid based Solution for Thin Film Silicon Solar Cell Application
Current Photovoltaic Research
2017 .09
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
광 포획 향상을 위한 다중 아키텍처 식각 기술을 적용한 박막 실리콘 태양전지에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2024 .05
습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각
전기전자재료학회논문지
2021 .01
습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응 대책에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .04
이방성 에칭 첨가제 기술로 제작된 인쇄회로 열교환기의 성능 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작
한국기계가공학회지
2019 .02
페이트 센서 감도 향상을 위한 습식에칭 기법 활용
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
적대적 생성 신경망(GAN)을 이용한 Etch Mask 예측
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2020 .06
수소 상압플라즈마를 이용하여 조명용 페로브스카이트 박막 식각시 메탈 마스크 크기와 공정 시간에 따른 형상 변화 연구
조명·전기설비학회논문지
2023 .12
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