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논문 기본 정보
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- 학술저널
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- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.16 No.5
- 발행연도
- 2016.10
- 수록면
- 641 - 649 (9page)
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In this paper, a novel time-domain measurement technique on a high parallelism probe card with protection resistors installed is proposed. The measured signal amplitude decreases when the measurement is performed by Needle Auto Calibration (NAC) probing on a high parallelism probe card with installed resistors. Therefore, the original signals must be carefully reconstructed, and the compensation coefficient, which is related to the number of channel branches and the value of protection resistors, must be introduced. The accuracy of the reconstructed signals is analyzed based on the varying number of channel branches and various protection resistances. The results demonstrate that the proposed technique is appropriate for evaluating the overall signal performance of probe cards with Automatic Test Equipment (ATE), which enhances the efficiency of probe card performance test dramatically.
목차
Abstract
I. INTRODUCTION
II. PROTECTION RESISTORS OF A HIGH PARALLELISM PROBE CARD
III. NAC PROBING TECHNIQUE ON A HIGH PARALLELISM PROBE CARD WITH PROTECTION RESISTORS
IV. RESULTS AND DISCUSSIONS
V. CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (17)
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[학술대회논문] - J. Rivoir / 2004 / Parallel Test Reduces Cost of Test More Effectively Than Just a Cheap Tester / IEEE/SEMI Int’l Electronics Manufacturing Technology Symposium
[학술지(정기간행물)] - 엄경운 / 2013 / Efficient Multi-site Testing Using ATE Channel Sharing / JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE 13 (3) : 259 ~ 262
[기타자료] - / / The International Technology Roadmap for Semiconductors: Test and Test Equipment Section
[학술지(정기간행물)] - F. C. Gale / 1984 / Productivity Factors in Measurement Technology / IEEE Trans. Instrumentation and Measurement 33 (3) : 177 ~ 180
[학술대회논문] - H. J. Kim / 2008 / Prediction of Signal Transfer Characteristic of Probe Card Using Electro-Magnetic Solvers / IEEE Int’l symposium on Antenna, Propagation and EM theory
[학술지(정기간행물)] - 엄경운 / 2013 / Efficient Multi-site Testing Using ATE Channel Sharing / JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE 13 (3) : 259 ~ 262
[기타자료] - / / The International Technology Roadmap for Semiconductors: Test and Test Equipment Section
[학술지(정기간행물)] - F. C. Gale / 1984 / Productivity Factors in Measurement Technology / IEEE Trans. Instrumentation and Measurement 33 (3) : 177 ~ 180
[학술대회논문] - H. J. Kim / 2008 / Prediction of Signal Transfer Characteristic of Probe Card Using Electro-Magnetic Solvers / IEEE Int’l symposium on Antenna, Propagation and EM theory
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