음극 아크 증착과 스퍼터링의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 박막 특성

양지훈; 송민아; 정재훈; 김성환; 정재인

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저자정보: 양지훈 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 김성환 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 249 - 249 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2018

음극아크 증착으로 제조한 TiMoN 코팅층 특성

양지훈 , 김성환 , 변인섭 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.11 학술대회자료

음극아크증착으로 제조된 TiMoN 박막의 물리적 특성

양지훈 , 김성환 , 변인섭 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.06 학술대회자료

2016

음극아크증착과 스퍼터링의 하이브리드 공정으로 제조된 TiAlSiN 코팅층의 물성

양지훈 , 김성환 , 정재훈 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.11 학술대회자료

음극 아크 증착으로 제조된 AlTiN 박막의 특성

양지훈 , 김성환 , 송민아 외 2명 한국표면공학회지 2016.06 학술저널

2015

음극 아크 증착과 스퍼터링의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 박막 특성

양지훈 , 송민아 , 정재훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

2014

스퍼터링과 음극 아크의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 코팅층의 특성

양지훈 , 송민아 , 정재훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014.08 학술대회자료

Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 코팅층의 물리적 특성

양지훈 , 송민아 , 정재훈 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014.05 학술대회자료

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#물리기상증착 #고경도 박막 #내산화성 #TiAlSiN

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양지훈

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논문수 237 이용수 9,400

송민아

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 79 이용수 2,818

정재훈

소속기관 한국재료연구원

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 170 이용수 11,580

김성환

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 66 이용수 1,264

정재인

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 257 이용수 10,753

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