H₂+Ar+CF₄ ICP 시스템에서 CF₄ 상하부 주입시 Mesh 효과에 따른 Multi QMS monitoring

김동훈 ,  임진형 ,  김성봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

H₂+Ar+CF₄ ICP 시스템에서 CF₄ 주입위치에 따른 분압의 QMS Monitoring

김동훈 ,  김형주 ,  주정훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Plasma characterization of a mesh separated dual plasma source by L-probe and QMS

김동훈 ,  최지성 ,  김성봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

A Quantification Method in Quadrupole Mass Spectrometer Measurement

Young Seok Lee ,  Sang Hyeop Oh ,  Jang Jae Lee 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2021 .03

질량분석기(QMS)를 사용한 중수소(D₂)의 품질 평가

유제이 ,  장진우 ,  김진석 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2022 .05

플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구

최진우 ,  박혜진 ,  이예슬 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

What do we know about plasma?

유석재

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

플라즈마 전기적 진단 기술

유신재

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술

이환희 ,  이태현 ,  권희태 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

정전용량 변화를 이용한 플라즈마 진단

신기원 ,  최진우 ,  황상혁 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

공정 플라즈마 내 활성종 분포 예측을 위한 사중극자질량분석기 (QMS) 이온화 장치 특성 연구

조철희 ,  성인호 ,  이장재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Plasma diagnostic method by charging voltages in a floating Langmuir probe

이무영 ,  김경현 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

플라즈마 생활건강(Plasma Life-Health)

최은하

진공이야기

2020 .06

MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment

양경채 ,  박성우 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

사중극자 질량 분석기(QMS)를 사용한 중수소(D₂) 내 HD 정량분석

유제이 ,  장진우 ,  김진석 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2022 .11

Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma

조철희 ,  김시준 ,  이장재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02