식각공정에서의 플라즈마 충격에 의한 세정액활성화 연구

김수인; 이창우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김수인 이창우

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 324 - 324 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

Nano-Indenter 측정 결과를 Weibull 분포로 해석한 ACP 플라즈마 소스의 플라즈마 에칭 조건에 따른 균일도 연구

김수인 , 이재훈 , 김홍기 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

2007

식각공정에서의 플라즈마 충격에 의한 세정액활성화 연구

김수인 , 이창우 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

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이 논문의 저자 정보

김수인

소속기관 국민대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 52 이용수 1,311

이창우

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 75 이용수 2,015

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