지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
Introduction
Electronic Energy Loss(EEL) Model
More Consistent 3D Point Defect Model
3D Virtual Trajectory Split Model
Simulation Results and Conclusions
References
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
ULSI CMOS 공정 기술 개발 및 제조를 위한 물리적 토대의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 ( Physically-Based Three-Dimensional Implant Modeling and Simulation for ULSI CMOS Process Technology Development and Manufacturing )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
ULSI Cell Technology
전자공학회지
1992 .05
Physically Based Three-Dimensional Modeling of Ion Implantation for ULSI and GSI Device Technology Development and Manufacturing
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
ULSI급 CMOS 소자 특성 분석을 위한 몬테 카를로 이온 주입 공정 시뮬레이션시의 효율적인 가상 이온 발생법
전자공학회논문지-SD
2001 .11
SPUTTERING TECHNOLOGY FOR ULSI REQUIREMENTS
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
Future ULSI Device Using SOI Technology
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Failure Analysis of ULSI Memory Devices Using Focused Ion Beams
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Thermal Nitride for Future ULSI Applications
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Technology and Reliability Aspects of Ultra Thin Dielectrics for ULSI Applications
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
ULSI를 위한 금속박막 CVD 기술
전자공학회지
1990 .08
Advanced Sputtering Target for V & ULSI Application
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
ULSI DRAM을 이용한 새로운 구조의 캐패시터 ( The Noble Capacitor Structure for ULSI DRAM )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
ULSI용 Stacked Chip Package에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
0.5㎛ 이하의 CMOS 기술을 위한 공정 및 소자 설계에 관하여 (On the Process and Device Design for Sub-0.5㎛ CMOS Technology )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
The Development and Challenges for Semiconductor ULSI Industry in Taiwan
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
Advanced Lithography Overview for ULSI
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
ECR PLASMAS FOR ULSI FABRICATION
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
Low Power ULSI Design on Unilateral Horizontal Channel-Implant SOI Technology for Wireless Applications
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
Wafer Scale Chip Design and Integration in ULSI Age
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1991 .01
WAFER SCALE CHIP DESIGN AND INTEGRATION IN ULSI AGE
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
1991 .08
0