ULSI Cell Technology

윤찬수 ,  황창규

전자공학회지

1992 .05

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

SPUTTERING TECHNOLOGY FOR ULSI REQUIREMENTS

Ma ,  v Felcheck

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

구리박막용 CVD를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구

황순택 ,  조영상 ,  최형수

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Thermal Nitride for Future ULSI Applications

신형철 ,  최석진 ,  이귀로

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

ULSI용 저저항 텅스텐 및 텅스텐질화박막의 특성

민석기

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Advanced Sputtering Target for V & ULSI Application

Osamu Kanou ,  Susumu Sawada

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

ULSI DRAM을 이용한 새로운 구조의 캐패시터 ( The Noble Capacitor Structure for ULSI DRAM )

유상기 ,  전국진

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

ULSI용 Stacked Chip Package에 관한 연구

김주연 ,  정연실 ,  김시중 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Future ULSI Device Using SOI Technology

Chang G. Hwang

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Advanced Lithography Overview for ULSI

구영모 ,  안동준 ,  현일선 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

The Development and Challenges for Semiconductor ULSI Industry in Taiwan

C. Y. LU

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Technology and Reliability Aspects of Ultra Thin Dielectrics for ULSI Applications

Dim Lee Kwong

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

ECR PLASMAS FOR ULSI FABRICATION

Young Hoon Lee

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

ULSI CMOS 공정 기술 개발 및 제조를 위한 물리적 토대의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 ( Physically-Based Three-Dimensional Implant Modeling and Simulation for ULSI CMOS Process Technology Development and Manufacturing )

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

VLSI/ULSI 반도체 소재에 대한 표면분석 기술의 동향과 전망

이병헌

전자진흥

1989 .01