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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1994년도 추계종합학술대회 논문집 Vol.17 No.2
발행연도
1994.11
수록면
914 - 917 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1996

전자빔 리토그라피에서 스트링모델을 이용한 3차원 리지스트 프로파일 시뮬레이션 ( 3-D Resist Profile Simulation using String Model on E-beam Lithography )
서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 1명 전자공학회논문지-A 1996.06 학술저널

1994

전자빔 리토그리피에서 몬테카를로와 현상시뮬레이션을 이용한 3차원 리지스트 프로파일 시뮬레이션
서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료
전자빔 리토그래피에서 몬테카를로와 현상시뮬레이션을 이용한 3차원 리지스트프로파일 시뮬레이션 ( 3-D Resist Profile Simulation using monte-Carlo & Develop Simulation on E-beam Lithography )
서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Simulation Model
Ⅲ. Simulation 결과
Ⅳ. 결론
Ⅴ. 참고문헌

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