소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01

최근의 X-ray 리소그래피 기술개발 현황

유형준 ,  황호병 ,  이병철 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .09

반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향

정태진 ,  유종준

[ETRI] 전자통신동향분석

1998 .10

반도체 포토리소그래피 공정의 overlay error 보정을 위한 하이브리드 모델링

김상진 ,  윤휘건 ,  이기범 외 3명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

Correction

Jin Kyu Choi ,  Yong Woo Kim ,  Joo Hwan Koh 외 2명

Macromolecular Research

2008 .06

포토 리소그래피용 고분자 재료

최상준

고분자 과학과 기술

2000 .04

Sub-50㎚급 나노 임프린트 리소그래피장비 기술

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍

전기의세계

2007 .10

블록 공중합체 리소그래피

이지훈

고분자 과학과 기술

2010 .06

나노패터닝 소자 평가를 위한 전자빔 리소그래피를 이용한 전극형성

조성환 ,  한창수 ,  우주연

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

색보정 필터의 설계 및 검증 ( Design and Review of Color Correction Filter )

유재환 ,  김은진 ,  민경철 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1994 .01

색보정 필터의 설계 및 검증

유재환 ,  김은진 ,  민경철 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1994 .07

전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공

김인기 ,  노준석

기계저널

2017 .01

측정기 보정을 위한 1차원 보정시편의 자가보정

유승봉 ,  정재훈 ,  김승우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

대면적 고생산성 나노임프린트 리소그래피

정준호 ,  김기돈 ,  최대근 외 6명

전기의세계

2007 .10

초소형 비행체 하중해석을 위한 공력보정

구교남

한국항공우주학회지

2005 .06

High Precision Dose Correction for Proximity Correction in Electron Beam lithography on a Sub O.2mm Device

양현조 ,  최용규 ,  허훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

소프트 리소그래피 기술 동향

신영재 ,  조정대 ,  이응숙

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .04

시뮬레이션에 의한 활성화 에너지 오차 보정

김기준 ,  박승협 ,  홍진웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

( 주 ) 서한전자

장인철

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1994 .01

직접 패터닝 기술을 이용한 $TiO_2$ 나노 패턴 형성

윤경민 ,  양기연 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01