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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1998.1
- 수록면
- 9 - 10 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (6)
1998
고농도 Ge fraction을 갖는 Si1-xGex막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과 ( In-situ Phosphorus Doping Effect on Epitaxial Growth of Si1-xGex Film with High Ge Fraction )
이철진
,
박정훈
,
김성진
대한전자공학회 학술대회
1998.07
학술대회자료
고농도 Ge fraction을 갖는 Si₁ₓ-Geₓ막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과
이철진
,
박정훈
,
김성진
대한전자공학회 학술대회
1998.06
학술대회자료
In-Situ Phosphorus Doping Effect on Si0.8 Ge0.2 Epitaxial Growth by ultraclean LPCVD
이철진
,
엄문종
,
성만영
대한전자공학회 학술대회
1998.01
학술대회자료
1997
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth
이철진
,
엄문종
대한전자공학회 학술대회
1997.11
학술대회자료
저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )
이철진
,
엄문종
대한전자공학회 학술대회
1997.11
학술대회자료
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과
이철진
,
엄문종
,
성만영
대한전기학회 학술대회 논문집
1997.11
학술대회자료
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대한전자공학회 학술대회
1998 .06
-
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
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저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
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고농도 Ge fraction을 갖는 Si1-xGex막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과 ( In-situ Phosphorus Doping Effect on Epitaxial Growth of Si1-xGex Film with High Ge Fraction )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
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저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
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International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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대한토목학회 학술대회
2004 .10
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실험과 모델링을 이용한 UltraCLEAN 공정의 해석
대한환경공학회 학술발표논문집
2004 .12
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Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD
[ETRI] ETRI Journal
2003 .12
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축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
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LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
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LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
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Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
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플라즈마를 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Plasma-assisted epitaxial growth of Ge layer on Si ( 100 ) in H2 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
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MBE에 의한 Ge epitaxial layer 성장
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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1997 .11
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