A New Sacrificial Oxide Layer and Design Consideration for Micromachining

Sung Sul Jung ,  Soon Kwan Hong ,  Sun Woo Pa 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1992 .01

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

HF Gas에 의한 Silicon Oxide층의 건식식각

김동석 ,  이상철 ,  최상대 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

INTRINSIC CHARACTERIZATIONS OF SILICON SURFACE AFTER ETCHING WITH LIQUID / GAS PHASES OF HYDROFLUORIC ACID

Lee ,  Chun-Su ,  Pa 외 10명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Etching Behavior of Glass by Atmospheric Pressure Plasma with HF gas

Jong-Joo Rha ,  Hyun-Eui Lim ,  Wan-Doo Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .04

무수 불화 수소산 기상에칭기반 멤스 희생층용 LPCVD TEOS 박막 제작 및 평가

이준우 ,  이재우 ,  전주현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2015 .11

Surface Micromachining of Polysilicon Gyroscope Structures with Symmetrical Doping and TEOS Sacrificial Oxides

Chang Auck Choi ,  Won Ick Jang ,  Chang Seung Lee 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Performance Characteristics of a Silicon Micromachined Thermal Flow Sensor for Species of Gases

Sung-Cheoul Roh ,  Yong-Moon Choi

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2006 .06

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Extended Sacrificial Bulk Micromachining Process and Its Application to the Fabrication of X-axis Single-crystalline Silicon Micro-gyroscope

Jongpal Kim ,  Sangjun Pa ,  k 외 7명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Hf 조성변화에 따른 Fe-Hf-N 자성박막의 특성

맹기호 ,  이진혁 ,  강계명 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

절연가스 내에 생성되는 H₂O 및 HF의 제거

한희준 ,  최선용 ,  김희준 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2010 .04

습식식각을 이용한 HfO₂ 박막의 식각특성

양정열 ,  황택성 ,  곽노석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Influence of Interface Structure on Chemical Etching Process for Air Gap of Microelectromechanical System Based on Surface Micromachining

Y. S. Yoon ,  J. H. Kim ,  D. L. Polla

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과

김도훈 ,  장명재 ,  임권택

청정기술

2012 .09

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01