반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

Anisotropic Etching Property on Porous Silicon Formation

유인식 ,  박기율 ,  심준환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구

金聲赫 ,  金容權 ,  李宰鎬 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .06

선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

실리콘 게르마늄의 선택적 습식 식각에 대한 연구

윤장근 ,  박세환 ,  박일한 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

HF Gas에 의한 Silicon Oxide층의 건식식각

김동석 ,  이상철 ,  최상대 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11