단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Natural Convection in an Enclosure with a Vertical Anisotropic Porous Layer

김서영 ,  구재모 ,  강병하

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1998 .06

Anisotropic Etching of Tungsten with ICP System

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Porous Si Layer by Electrochemical Etching for Si Solar Cell

이수홍

전기전자재료학회논문지

2009 .01

다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

양천순 ,  박정용 ,  이종현

전자공학회논문지

1990 .10

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

높은 종횡비를 갖는 구조물의 제작을 위한 ( 110 ) Silicon 이방성 습식 식각에 관한 연구 ( Anisotropic Bulk Etching of ( 110 ) silicon for Fabrication of Micro Structure with High Aspect Ratios )

김성혁 ,  이상훈 ,  임형택 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

다공성 실리콘 막을 적용한 결정질 실리콘 태양전지 특성 연구

이은주 ,  이일형 ,  이수홍

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2007 .06

단결정 실리콘 태양전지의 반사방지막에 적용하기 위한 다공성 실리콘에 대한 연구

김범호 ,  최준영 ,  이은주 외 1명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2007 .04

결정질 실리콘 태양전지의 광학적 손실 감소를 위한 표면구조 개선에 관한 연구

이은주 ,  이수홍

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

반도체 미세공정 기술을 이용한 Hollow형 실리콘 미세바늘 어레이의 제작

金承國 ,  張鍾賢 ,  金秉玟 외 3명

전기학회논문지

2007 .12