MeV $B^+$ 이온주입에 의한 Self-Gettering 효과

조남훈 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

고에너지-고조사량 이온주입된 실리콘내의 결함 생성 및 Gettering 거동

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

MeV 이온주입된 실리콘의 열처리시 불순물과 이차결함간의 상호작용

장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

낮은 결함 밀도를 갖는 Boron diffused layer를 형성하기 위한 확산, 표면처리 및 Gettering 공정에 관한 연구

한상욱 ,  심경배 ,  박수영 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

고에너지 이온주입에 의한 Gettering에 관한 연구

장윤택 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

나트륨등용 Getter

Pie ,  e Elte

조명·전기설비

1989 .06

Czochralski 법으로 성장시킨 Silicon 단결정의 Internal Gettering에 관한 연구

허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

MICROSCOPIC ASPECTS OF GETTERING IN CZOCHRALSKI SILICON

S. Hahn

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

실리콘 Intrinsic Gettering 기술의 이해와 응용

최광수

한국재료학회지

2004 .01

New Copolymers Containing Silicon Atom for Moisture Getter Binder

김새롬 ,  류동완 ,  최철규 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .04

Optimization of the Profiles in MeV Implanted Silicon Through the Modification of Electronic Stopping Power

정원채

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

Atomistic Modeling for 3D Dynamic Simulation of Ion implantation into Crystalline Silicon

Myung Sik Son ,  Jeong Won Kang ,  Ki Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Atomistic Modeling for 3D Dynamic Simulation of Ion implantation into Crystalline Silicon

Myung-Sik Son ,  Jeong-Won Kang ,  Ki-Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Gettering Phenomena at Bonding Interfaces

W. S. Yang ,  J. S. Roh ,  W. S. Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

PDP 방전전압 최소화를 위한 getter 재료 개발 연구

황일선 ,  김헌창 ,  정민희 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2005 .11

MeV 이온빔 분석 기술

김태곤 ,  송종한

고분자 과학과 기술

2003 .02

RBS ANALYSIS OF THE TEMPERATURE DEPENDENCE OF DIFFUSION AND SELF-GETTERING OF ION-IMPLANTED COPPER IN POLYIMIDE

J. E. Mo ,  is ,  J. H. Das

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

STUDY ON DIFFUSION, SURFACE TREATMENT AND GETTERING PROCESS TO FORM BORON DIFFUSED LAYER WITH LOW DEFECT DENSITY

Dong Gi SHIN ,  Kyoung Soo JANG ,  Hee Jun PARK 외 2명

AFORE

2017 .11

MeV 이온주입에 의한 $P^{+}$ Buried Layer 형성시 발생하는 결함에 관한 연구

유승한 ,  장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01