고에너지 이온주입에 의한 Gettering에 관한 연구

장윤택 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MeV $B^+$ 이온주입에 의한 Self-Gettering 효과

조남훈 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Hydrogen Ion Implantation Mechanism in GaAs-on-insulator Wafer Formation by Ion-cut Process

Hyung-Joo Woo ,  Han-Woo Choi ,  Joon-Kon Kim

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2006 .06

나트륨등용 Getter

Pie ,  e Elte

조명·전기설비

1989 .06

Ion Implantation 과 PECVD Oxide Capping 이 Al-1% Si 박막의 Hillock 생성에 미치는 영향 ( The Effects of Ion Implantation and PECVD Oxide Capping on the Hillock Growth in Al-1%Si Thin Film )

백종태 ,  박영준 ,  허성익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

다결정 박막 트랜지스터 적용을 위한 SiNx 박막 연구

고재경 ,  김치형 ,  김도영 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Gettering Phenomena at Bonding Interfaces

W. S. Yang ,  J. S. Roh ,  W. S. Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

낮은 결함 밀도를 갖는 Boron diffused layer를 형성하기 위한 확산, 표면처리 및 Gettering 공정에 관한 연구

한상욱 ,  심경배 ,  박수영 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

레이저 CVD를 이용한 GaAs/GaAs 및 GaAs/Si 결정성장연구

최웅림 ,  구자강 ,  정진욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

PDP 방전전압 최소화를 위한 getter 재료 개발 연구

황일선 ,  김헌창 ,  정민희 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2005 .11

실리콘 Intrinsic Gettering 기술의 이해와 응용

최광수

한국재료학회지

2004 .01

GaAs / A 1 GaAs양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive Ion Etch Using GaAs/AlGaAs Quantum Well )

김현태 ,  마동성 ,  J. Motohisa 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Analysis and Growth of GaAs on Si

丁世鎭 ,  成萬永

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

고에너지-고조사량 이온주입된 실리콘내의 결함 생성 및 Gettering 거동

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Three-Dimensional Full-Dynamic Damage Model for Ion Implantation into Crystalline Silicon

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

단결성 〈100〉GaAs 기판에서의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

GaAs계의 ohmic contact개발을 위한 Si/Co/GaAs계의 계면반응에 대한 연구

곽준섭 ,  백홍구 ,  신동원 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01