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Polymide 박막상에 증착된 알루미늄 박막의 Hillock거동
한국재료학회지
1998 .01
이온 주입과 기판 온도 효과에 의한 Al-1%Si 박막의Hillock 형성 특성
전기전자재료학회논문지
2014 .01
PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용
대한전자공학회 학술대회
1999 .06
Mo under-layer의 두께에 따른 TFT 신호 배선 용 순수 Al 박막에서의 미세 구조 변화 및 hillock 형성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )
전자공학회논문지-A
1996 .05
PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
PE-CVD Oxide의 Hillock억제 효과에 대한 고찰 ( I ) ( The Investigation on Hillock Suppresion Effects of PE-CVD Oxide ( I ) )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
LCD 대형기판에서의 pure-Al Hillock특성 및 억제 방법에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
변형 에너지가 나노압입 유기 Hillock 현상에 미치는 영향
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2005 .05
Al 박막의 힐록 형성에 미치는 Mo 하부층의 영향에 관한 실시간 분석
한국재료학회지
2007 .01
Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .11
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
Diffusion / Ion Implantation
대한전자공학회 단기강좌
1982 .01
PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
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