기능성 향상을 위한 Al과 Al-Si 박막의 증착 및 특성 연구

박혜선 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

a-C:H:Si:O 박막의 증착된 다양한 조도의 표면 구조의 젖음 특성 거동

김태영 ,  Bialuch Ingma ,  Klaus Bewilogua 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

RF PCVD 에 의한 DLC 박막합성과 Tribology특성평가

김성영 ,  이상현 ,  신승용 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

태양전지용 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 특성분석

정연식 ,  이정철 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Hyperthermal 중성빔을 이용한 HIT cell용 Si 박막 형성 및 계면특성

오경숙 ,  최성웅 ,  김대철 외 6명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .05

원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

결정구조가 Ge0.2 Si0.8의 습식열산화에 미치는 영향

박세근

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

습식에칭에 의한 구리박막의 미세회로 형성

김영호 ,  정태경 ,  유진

Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -

1991 .01

RF Sputter로 증착한 $Si_{1-x}$ $C_x$ 박막 내 실리콘 양자점의 광학적 특성평가

문지현 ,  김현종 ,  이정철

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

LPCVD 방식으로 SiO₂ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  황성민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

표면 텍스쳐된 Al doped ZnO 박막의 기판 온도에 따른 전기적, 광학적 특성

이용욱 ,  강동원 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

전기적 기판 효과에 따른 nc-Si:H 박막의 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석

손종익 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성

이장우 ,  박익현 ,  신별 외 1명

공업화학

2005 .01

펄스레이저를 이용한 박막 증착

김호성

전기의세계

1993 .06