256M DRAM급 Device를 위한 Bird`s Beak이 없는 LOCOS Isolation ( Bird's Beak Free LOCOS Isolation for 256M DRAM )

박철수 ,  황치선 ,  우영탁 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

LOCOS구조에 대한 2차원 모델링

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Locos구조에 대한 2차원 모델링 ( Two-Dimensional Modeling of Locos Structure )

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

High Pressure Dry O2 LOCOS Field Oxidation for Advanced Isolation Technique

Sang S. Kim ,  A. L. Esqui vel

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구 ( A Study on the Bird's Beak-reduced LOCOS Isolation by Adding Polysilicon )

김병렬 ,  류현기 ,  박문진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구

김병렬 ,  류현기 ,  박문진 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

256K Bit 시대의 전망

한국전자산업진흥회

전자진흥

1985 .01

상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 LOCOS공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process using Room Temperature Plasma Nitridation )

이병일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

CHARACTERIZATION OF BIRD`S BEAK-REDUCED LOCOS ISOLATION

B. Y. Kim ,  T. Y. Jang ,  W. S. Paik 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Oxidation Model에 따른 Advanced LOCOS 구현에 관한 연구 ( A Study for Advanced LOCOS Implement Depend On Oxidation Models )

이용희 ,  최영규 ,  류기한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

DRAM 특집을 내면서

진대제

전기의세계

1989 .04

LOCOS 공정에서 새부리 크기 감소를 위한 연구 ( A Study on the Reduction of Bird`s Beak in the LOCOS Process )

이찬용 ,  박상민 ,  윤석범 외 1명

전자공학회논문지

1990 .01

LOCOS 공정에서 새부리 감소를 위한 최적화에 대한 연구 ( A Study on the Optimum for Bird's Beak Reduction in the LOCOS Process )

이찬용 ,  윤석범 ,  박상민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

Register File 을 집적한 64K BIT DRAM ( 64K Bit DRAM with Register Files )

한선호 ,  원영걸 ,  유회준

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Technology Trend in DRAM Cells

Dae Je Chin

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구

김지범 ,  오기영 ,  김달수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process Using Only Thin LPCVD Nitride )

김지범 ,  오기영 ,  김달수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07