폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구

김병렬 ,  류현기 ,  박문진 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

CHARACTERIZATION OF BIRD`S BEAK-REDUCED LOCOS ISOLATION

B. Y. Kim ,  T. Y. Jang ,  W. S. Paik 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

256M DRAM급 Device를 위한 Bird`s Beak이 없는 LOCOS Isolation ( Bird's Beak Free LOCOS Isolation for 256M DRAM )

박철수 ,  황치선 ,  우영탁 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

LOCOS 공정에서 새부리 크기 감소를 위한 연구 ( A Study on the Reduction of Bird`s Beak in the LOCOS Process )

이찬용 ,  박상민 ,  윤석범 외 1명

전자공학회논문지

1990 .01

LOCOS 공정에서 새부리 감소를 위한 최적화에 대한 연구 ( A Study on the Optimum for Bird's Beak Reduction in the LOCOS Process )

이찬용 ,  윤석범 ,  박상민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

LOCOS구조에 대한 2차원 모델링

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Locos구조에 대한 2차원 모델링 ( Two-Dimensional Modeling of Locos Structure )

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

The Fabrication of Polysilicon Nano-Structure using Thin Film Stress and LOCOS Process

박동일 ,  박순수 ,  이형일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Field Oxide Thinning Effect가 없는 LOCOS계열의 새로운 소자분리법

박태서 ,  안성준 ,  안성태

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 LOCOS공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process using Room Temperature Plasma Nitridation )

이병일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

Oxidation Model에 따른 Advanced LOCOS 구현에 관한 연구 ( A Study for Advanced LOCOS Implement Depend On Oxidation Models )

이용희 ,  최영규 ,  류기한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

High Pressure Dry O2 LOCOS Field Oxidation for Advanced Isolation Technique

Sang S. Kim ,  A. L. Esqui vel

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구

김지범 ,  오기영 ,  김달수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process Using Only Thin LPCVD Nitride )

김지범 ,  오기영 ,  김달수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Silicon and Metal tip Arrays Fabricated by LOCOS

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

Silicon and metal tip arrays fabricated by LOCOS

Hyung Soo Uh ,  Chun Gyoo Lee ,  Sang Jik Kwon 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

EVALUATION OF STRESS INDUCED DEFECTS DUE TO RECESSED LOCOS PROCESS

Aoki ,  Yasuyuki ,  Kawakami 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

해석모델을 이용한 3차원 산화 시뮬레이션 ( Three-Dimensional Analytic Model of LOCOS )

이준하 ,  권오근 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Bird`s Beak 및 소자특성 개선을 위한 새로운 Isolation 기술에 대한 연구 ( A Study on the New Isolation Technology to Improve the Bird`s Beak and the Device Characteristics )

남명희 ,  김현철 ,  김철성

전자공학회논문지-A

1994 .12

3차원 비구조형 Delaunay 순응 메쉬 생성기 제작과 R-LOCOS 시뮬레이션에 관한 연구

윤상호 ,  이제희 ,  김연태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11