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Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
다면적 플라즈마 공정에서 자장이 내장형 선형 유도결합 플라즈마 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
평판형 RF 플라즈마에서 축방향 자장이 플라즈마 물성 및 식각에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
자장 강화된 유도결합형 SF₆계 플라즈마를 이용한 SiC 식각특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
자장 강화된 유도결합형 플라즈마의 특성 및 광도파로 제작을 위한 산화막 식각에의 응용에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
SNU안테나에 의한 헬리콘 플라즈마의 SiO2 식각 특성 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
자화된 SF₆ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여
인포메이션 디스플레이
2017 .01
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
상압플라즈마의 응용 현황
기계와 재료
1997 .01
축 방향 자장이 인가된 용량 결합형 라디오 주파수 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
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