자화된 SF₆ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

이효영 ,  김동우 ,  박병재 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

평판형 RF 플라즈마에서 축방향 자장이 플라즈마 물성 및 식각에 미치는 영향

이호준 ,  신경섭 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

약한 자장을 사용하는 평면형 유도결합 플라즈마의 식각 특성

이호준 ,  양일동 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  송현직 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

가압전압 및 용액특성에 따르는 6H-SiC의 습식식각특성

송정균 ,  정삼원 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

$SF_6$/$O_2$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구

주영우 ,  김재권 ,  박연현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성

이상필 ,  이진경 ,  손인수

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

주섭열 ,  황재희 ,  김상훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

노호섭 ,  박연현 ,  이성현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

$NF_3$ 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 SiC 단결정 식각에 관한 연구

최현준 ,  박주훈 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

SiC 단체와 SiC/SiC 복합재료의 충격파괴거동

서민수 ,  서창민

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

자장 강화된 유도결합형 플라즈마 특성 및 광도파로형 산화막 식각에의 응용

안경준 ,  김현수 ,  이용혁 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

반응소결 SiC 재료와 SiC_f/SiC 복합재료의 특성

진준옥(Joon-Ok Jin) ,  이상필 ,  이진경 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

용융함침법에 의한 반응소결 SiC/SiC 복합재료의 특성 평가

이상필 ,  신윤석 ,  A. Kohyama

대한기계학회 논문집 A권

2007 .02

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

$H_2O_2$를 이용한 고평활도 SiC 광전화학 식각에 관한 연구

송정균 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01