자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용

신경섭; 이호준; 황기웅

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신경섭 이호준 황기웅

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1993年度定期總會 및 秋季綜合學術大會論文集

발행연도: 1993.11

수록면: 261 - 263 (3page)

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