D.C Reactive Sputter 법에 의한 $RuO_2$ 박막 제조

선호정 ,  홍권 ,  유상호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO₂ 박막의 제작과 특성에 관한 연구

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

강성준 ,  장동훈 ,  윤영섭 외 1명

전자공학회논문지-D

1997 .08

RF Magnetron Reactive Sputtering법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )

오영석 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

Rf Magnetron Sputtering으로 증착된 RuO$_2$ 박막의 미세구조 및 계면 반응 특성 분석

배준철 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 스퍼터링을 이용한 RuO₂ 박막 제작 및 물성 분석

정웅현 ,  조성학 ,  최원석 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .04

RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구

최재용 ,  심규하 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Sputtering 법으로 제작한 강유전체 메모리의 하부전극용 RuO₂ 박막의 특성에 관한 연구

강성준 ,  정양희

한국정보통신학회논문지

2000 .12

Improvement of electrical properties of PZT films on RuO₂ electrodes

Jae-Bok Lee ,  Duck-Kyun Choi

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

$RuO_2$ 박막의 비저항

홍석경 ,  문경하 ,  윤찬주 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Thermal과 Plasma 화학기상증착법을 이용한 RuO$_2$박막형성에 관한 연구

김현미 ,  박성언 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구

오상호 ,  박찬경 ,  백홍구

한국재료학회지

1998 .01

Characteristics of RuO₂/n-GaN Schottky Diode

김동식

전자공학회논문지-IE

2009 .09

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RuO₂계 후막저항체의 교류 임피던스특성

구본급 ,  김호기

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07